Tebulo la Semiconductor lakuzungulira

Kasi Tebulo la Semiconductor lakuzungulira la Hollow ni vichi?

Tebulo la semiconductor lakuzungulira lakukhora ni malo ghakuŵikamo magesi ghakuzungulira ghakukwana chomene agho ghali na bore la pakatikati, ilo likapangika mwakupambanapambana kuti ligwiliskirenge ntchito wafer, kuwoneseska, na kupanga vinthu vyakupangira semiconductor mu chipinda chakutowa. Pakati pa malo ghakudoloka ghakuzomerezga mizere ya vacuum, waya wa magesi, panji makhebo gha optical sensor kuti ghajumphe mu axis yakuzungulira, kupangiska kuti paŵe kutozga, kuphatikizgika kwa vigaŵa vyapasi- kwambura nthowa ya khebo yakunja iyo yingapangiska kuti paŵe kufipiskika panji kuvwara -vyakukhwaskana na vinyakhe.

Ndondomeko

Tebulo ili likusazgapo vigaŵa vyapasi, vyakulongozgeka panji vyakuchepeska (kanandi torque motor panji harmonic{2}}driven) pasi pa malo ghakupepuka, ghakuchepa -ghakufumiramo mphepo, ghakukhozgeka na vigaŵa vyapachanya -kuyendeska. Bore yapakati yikuchitika mwakupambanapambana mu galimoto na thebulu, ndipo yikupangiska kuti mizere ya vacuum chucking panji makhebo gha wafer sensor ghajumphe kwambura nthowa yakunja. Encoders na sub-arcsecond resolution yikuphatikizgika kuti yiŵe yakujalika -kuzgora kwa malo.

Kughanaghanira vyakusankha

Vinthu vinyake ivyo vikupangiska kuti munthu waŵe na msinkhu wa bore, kuŵika vinthu mwakukwana na kuwerezgawerezga (sub-micron/arcsecond level), kukolerana kwa kugaŵika kwa cleanroom, msinkhu wa kupanga vigaŵa, mikhaliro ya kufumiska mpweya wa vinthu na mafuta ghakupangira, kukhora kwa torsional, katundu wakuzomerezgeka, na nyengo yakukhazikika. Kugwedezeka kwa kugwedezeka na kukhazikika kwa kutentha nkhwakuzirwa chomene chifukwa kugwedezeka kwa kutentha panji kugwedezeka kwa micro- kungapangiska kuti wafer yileke kuŵikika makora.

Mapulogalamu

Mathebulu ghakuzungulira gha semiconductor ghakugwiriskirika nchito mu wafer prealigners, ndondomeko ya kuwoneseska na metrology, vipangizo vyakukolerana vyakufwa, na kuŵika pa siteji ya lithography apo ultra-kuzungulira kwakukwana kuphatikizgika na kujumpha kwakutowa -kupitira mu nthowa nkhwakuzirwa kuti ndondomeko yiŵe yakugomezgeka.

Kughanaghanira vyakuŵika

Kuŵika kukwenera kuchitika mu malo ghakutowa ghakulaŵilirika kuti vileke kunangika. Mizere ya vacuum na magesi iyo yikuchitika mu bore yikukhumbikwira kuti yiŵe na chitetezo chakukhozga kuti yileke kupanga vigaŵa vichokovichoko kufuma ku kukhotakhota kwa khebo. Malo ghakuŵikapo ghakwenera kulinganizgika makora na kukhozgeka mu mtanda, ndipo calibration ya encoder, vibration levels, na particle-shedding vikwenera kukhozgeka panyuma pa-kuŵika pambere vindagwiriskike nchito pakupanga.

Apa Mu lemba ili, tikulongosora mndandanda wa Tebulo la Semiconductor la Hollow Rotary TMN130, .

muzamuwona data sheet, vithuzithuzi vyakupanga, mavidiyo gha mayeso nga ni umo vikuŵira:
Kweniso mukupokelereka kuti muwonelere mapulojekiti ghanyake panji kuluta ku vidiyo yithu pa Youtube:https://www.youtube.com/@ma roboti ghatali

FAQ:

1. Kasi ni vici ivyo vikumanyikwa comene pa malo ghakujulika gha matebulo ghakuzungulira ghakuzungulira?

Mazgu ghakumanyikwa ghakujulika: Kujulika kwakujulika kwa mapulatifomu ghakuzungulira ghakuzungulira ghakuwoneka kufuma pa 10mm kufika pa 600mm, na mitundu yinyake nga ni 28mm, 33mm, 62mm, 100mm, 150mm, na mitundu yikuru yakujulika iyo yikufika pa 600mm .

2. Kasi kukura kwa chipata cha bowo kukukhwaska wuli umo matebulo ghakuzungulira gha bowo ghakugwilira ntchito?

Kukhuŵara kwa aperture pa ntchito: Para aperture njikuru, nkhongono ya pulatifomu yikuŵa yakulopwa. Kujulika kukuru chomene kungapangiska kuti mtenje uŵe wakukwana yayi na kupwetekeka kwambura kuyana, mwakuti kuchepeske nkhongono ya kunyamura katundu-na kukhotakhota na kukhotakhota, ndipo ivi vikukhwaska umo munthu wakugwilira ntchito mwakukwana na kukhazikika. Kulaŵilira chomene chiŵelengero cha aperture na thickness ya khoma pa nyengo yakupanga.

3. Kasi ni vichi ivyo vikupangika mu mtenje wa mkati wa nyumba iyo yili na mphanji ndipo kasi vikukhozga kuvwara-?

Vinthu vya mkati vya mtenje na kuvwara: Vinthu vya mkati vya mtenje vikukolerana na thupi la pulatifomu, chomenechomene ŵakugwiliskira ntchito aluminiyamu, chisulo chakuponyeka, chisulo cha mkati, na vinyake. kuti ŵasinthe kukana kuvwara na kukana dzimbiri.

4. Kasi chinthu icho chili mu bowo chikovwira kuti paŵe ulusi, tubing, panji mphepo?

Wovwiri wakugwira ntchito: Chigaŵa cha bowo chikovwira chomene kuŵika ulusi, kuŵika mapaipi, na kuŵika mphepo. Makhebo, mapaipi gha mphepo, vingwe vyakuwonera, mapaipi ghakuzizimiska, na laser vyose vingajumpha mu mabowo ghakudoloka, ndipo ivi vingamara makora suzgo la kukolerana kwa mapaipi para ghakuzungulira.

5. Kasi tingawoneseska wuli kuti nkhongono za kapangikiro ka matebulo ghakuru ghakuzungulira ghakukhozga?

Nthowa zakuwoneseskera kuti nkhongono za vigaŵa vikuruvikuru vyakujambulika: 1 Gwiliskirani nchito vitsulo vyakukhora chomene panji vyakupangika na chisulo, 2 Gwiliskirani ntchito maberingi ghakukhozga chomene kuti viŵe vyakukhora, 3 mipiringizgo ya kusuzgika maghanoghano, 5 Kuŵika ndondomeko ya kuwungana pamoza na kupeŵa katundu wakujumphizga na kupatuka pa nyengo ya ulendo